Fischer, E.,
Glukhovskoy, A.,
Schmelt, A.,
Twiefel, J. &
Wurz, M. C.,
2017,
MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings. VDE Verlag GmbH,
S. 515-518 4 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings).
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review