Details
Description
Alcatel RIE für Wafer bis 100 mm Durchmesser, Ätzen unter Ar, O2, SF6 und CHF3
Access to facility/equipment
| Name | Oliver Kerker |
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| Available for loan/booking | Please contact the contact person |
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Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)
Facility/Equipment: Research Instrumentation