Details
Beschreibung
Alcatel RIE für Wafer bis 100 mm Durchmesser, Ätzen unter Ar, O2, SF6 und CHF3
Kontaktinformationen
| Name | Oliver Kerker |
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| Zur Ausleihe/Buchung verfügbar | Bitte kontaktieren Sie die Ansprechperson |
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Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)
Ausstattung/Einrichtung: Gerät