Elektronenstrahlverdampfer Balzers BAK 610

Facility/Equipment: Research Instrumentation

Details

Description

Aufdampfanlage für Runde Wafer bis 100 mm Durchmesser, 4-fach Tiegel und Einzeltiegel, Co-Verdampfen (BALZERS BAK 610)

Access to facility/equipment

NameOliver Kerker
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