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  1. Wafer-Probe-Station Cascade Summit 11000

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  2. Spektrales Ellipsometer Sentech SE 800

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  3. Drahtbonder, Wire-Bonder TPT HB16

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  4. 3D-Druck von Glassubstraten, LightFab 3D Printer M mit IR-Laser 1030 nm

    Stupp, J. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  5. Polyimid-Ofen

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  6. Schnellheizöfen (RTP/RTO/RTA)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  7. Widerstandsverdampfer "Congo Vac"

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  8. Kathodenzerstäubungsanlage (Sputteranlage) Leybold Z590

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  9. Elektronenstrahlverdampfer Balzers BAK 610

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  10. Plasma CVD Oxford Plasmalab 90

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  11. Horizontal-Clustersystem (Ofen)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  12. Ionenimplanter Varian VIISta HCS

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

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  13. Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  14. Rasterelektronenmikroskop mit e-Beam Lithografie

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  15. Semitool Spin Rinser Dryer

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  16. Nassbänke Reinigung und Strukturierung

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

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  17. Mask-Aligner Süss MA 6

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  18. Mask-Aligner Süss MA 150

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    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  19. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6

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  20. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter

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