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Plasma CVD Oxford Plasmalab 90
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Horizontal-Clustersystem (Ofen)
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Ionenimplanter Varian VIISta HCS
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Rasterelektronenmikroskop mit e-Beam Lithografie
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Semitool Spin Rinser Dryer
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Nassbänke Reinigung und Strukturierung
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Mask-Aligner Süss MA 6
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Mask-Aligner Süss MA 150
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Plasma Asher TePla 100 und GIGAbatch 360M
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Spraycoater Süss AS8
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Lackschleuder mit Heizplatte Süss Delta 80, HP8TT
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Elementhalbleiter
Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Gerät
Antriebseinheit für einen druckaufgeladenen Hochgeschwindigkeitsaxialverdichter
Seume, J. R. (Leitung)
Institut für Turbomaschinen und Fluid-DynamikAusstattung/Einrichtung: Großgerät
DC-Stromversorgung
Ponick, B. (Leitung)
Institut für Antriebssysteme und LeistungselektronikAusstattung/Einrichtung: Großgerät
Zeit und Frequenz synchronisierte Langstrecken-Quantenkommunikation (InterSync)
Institut für FestkörperphysikAusstattung/Einrichtung: Großgerät
Bordnetzversorgung mit DC-Spannung und Kühleinrichtung
Ponick, B. (Leitung)
Institut für Antriebssysteme und LeistungselektronikAusstattung/Einrichtung: Großgerät