Das Teilprojekt ist hauptsächlich als Serviceprojekt tätig und unterstützt die anderen Teilprojekte des SFB durch seine Expertise und Geräteinfrastruktur bei der Aufklärung oberflächen- und grenzflächenrelevanter Fragestellungen. Besonderes Augenmerk gilt unter anderem der Oxidbildung an den Ober- und Grenzflächen, möglichen physikalisch-chemischen Prozessen wie der Interdiffusion beim oxidfreien Kontakt von Fügepartnern sowie den Mechanismen an den Oberflächen bei mechanischen Behandlungen unter XHV adäquaten Bedingungen. Das Teilprojekt beschäftigt sich zusätzlich mit eigenen Forschungsarbeiten zum Thema Wechselwirkung von Silan mit Wasser. Insbesondere wird erforscht, wie mit Hilfe dielektrisch behinderter Plasmen der für einige Anwendungen störende verbleibende Restwassergehalt in der XHV-adäquaten Atmosphäre effizient entfernt werden kann.