Dieses Teilprojekt hat das Ziel, etablierte Beschichtungen auf ihr Einsatzverhalten in XHV-adäquater Atmosphäre zu untersuchen und neuartige Beschichtungen zur Funktionalisierung von Werkzeugen und Werkstücken zu erforschen, die in kooperierenden Teilprojekten eingesetzt werden. Neuartig ist die thermische In-situ-Beschichtung sowie eine Atmosphärendruckplasmabehandlung in XHV-adäquater Atmosphäre, die gezielt Schichten auf desoxidierten Oberflächen herstellt, die keine Sauerstoffeinschlüsse aufweisen und somit vorteilhafte mechanische und chemische Eigenschaften besitzen.