Details
| Status | Abgeschlossen |
|---|---|
| Beginn/Ende | 26 Nov. 2019 → 31 Dez. 2020 |
!!Funding
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Mittelherkunft
Förderprogramm/-linie
- Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
- Verbundprojektanträge von Organisationen
- Infrastruktur: Forschungsgroßgeräte
Reactive ion etching
Projekt: Forschung
Mitwirkende
- Fei Ding (Projektleiter*in (Principal Investigator))