Wafer-Probe Station für runde Wafer bis 200 mm Durchmesser (auch Solar), -65 °C bis +200 °C Probentemperatur, digitales Kamerasystem, 4 Messnadeln (CASCADE SUMMIT 11000). Mit Impedance Analyzer (Agilent 4294A) und Semiconductor Parameter Analyzer (HP 4155). <br/>