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  1. Reaktive Ionenätzanlage RIE (SF6 und CHF3)

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  2. Rasterelektronenmikroskop mit e-Beam Lithografie

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  3. Semitool Spin Rinser Dryer

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  4. Nassbänke Reinigung und Strukturierung

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  5. Mask-Aligner Süss MA 6

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  6. Mask-Aligner Süss MA 150

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  7. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Labspin 6

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  8. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Verbindungshalbleiter

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  9. Plasma Asher TePla 100 und GIGAbatch 360M

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  10. HMDS-Hotplate Süss VP8 T/BM

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  11. Spraycoater Süss AS8

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  12. Lackschleuder mit Heizplatte Süss Delta 80, HP8TT

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  13. Lithografie, UV Kontakt und Proximity-Aligner Elementhalbleiter

    Kerker, O. (Gerätemanagement)

    Laboratorium für Nano- und Quantenengineering

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  14. Antriebseinheit für einen druckaufgeladenen Hochgeschwindigkeitsaxialverdichter

    Seume, J. R. (Leitung)

    Institut für Turbomaschinen und Fluid-Dynamik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

  15. DC-Stromversorgung

    Ponick, B. (Leitung)

    Institut für Antriebssysteme und Leistungselektronik

    Ausstattung/Einrichtung: Großgerät

  16. hochauflösendes Tandem-Massenspektrometer Xevo QTof (mit UPLC)

    Dräger, G. (Kontakt)

    Institut für Organische Chemie

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  17. hochauflösendes EI-MS GCT Premier mit Direkteinlass

    Dräger, G. (Kontakt)

    Institut für Organische Chemie

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  18. präparative HPLC-MS (LCT classic)

    Dräger, G. (Kontakt)

    Institut für Organische Chemie

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  19. open access HPLC-MS (Quattro Micro)

    Dräger, G. (Kontakt)

    Institut für Organische Chemie

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

  20. semipräparative HPLC-MS (Quattro Micro)

    Dräger, G. (Kontakt)

    Institut für Organische Chemie

    Ausstattung/Einrichtung: Gerät

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