Schnellheizöfen (RTP/RTO/RTA)

Ausstattung/Einrichtung: Gerät

Details

Beschreibung

Schnellheizöfen bei Normaldruck, für runde Wafer bis 150 mm Durchmesser, auch Solar, Temperung bis 1100 °C unter Ar, O2, N2 oder N2H2. (AST SHS 2000 und Eigenbau)

Kontaktinformationen

NameOliver Kerker
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