Details
Beschreibung
Ionenimplanter für runde Wafer bis 300 mm Durchmesser, auch Solar, As, P, B, 5-60 keV (VARIAN VIISta HCS)
Kontaktinformationen
| Name | Jan Krügener, Oliver Kerker |
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| Zur Ausleihe/Buchung verfügbar | Bitte kontaktieren Sie die Ansprechperson |
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