LightFab 3D Printer M mit IR-Laser 1030 nm, Subtraktive Fertigung von Glassubstraten mittels selektivem laserinduziertem Ätzen (SLE). Zweistufiger Prozess: Beleuchtung des Substrats mittels fs-Laser zur Erhöhung der lokalen Ätzbarkeit des Materials (LightFab 3D-Printer). Entfernen der beleuchteten Strukturen mittels KOH-Lösung im Ultraschallbad. Bearbeitbare Materialen: u.a. Quarzglas, Saphir, Borosilikatglas, Aluminosilikatglas, Quarz, Diamant. 3D-Strukturen bis zu einer Präzision von ~1 µm möglich. Für Substrate bis zu einer Größe von 200 mm Durchmesser geeignet. Materialhöhe bzw. Strukturtiefe ist materialabhängig. Mit dem System können zusätzlich und in Kombination Laserschweißen, Laserabtrag und 2-Photonen-Polymerisation realisiert werden.