Strukturelle und elektrische Bewertung der Wirkung von Kohlenstoff-Deltaschichten zur Defektreduktion bei der Epitaxie von dünnen, relaxierten Germaniumschichten auf Siliziumsubstraten

Projekt: Forschung

Mitwirkende

  • Hans-Jörg Osten (Projektleiter*in (Principal Investigator))

Organisationseinheiten

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