Publikationen
- 2021
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Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Diekmann, L. & Würz, M. C., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 466-468 3 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Modellierung und Herstellung eines akustischen Wandlers auf Waferniveau unter Einsatz von Polymermembranen
Kaiser, M., 2021, Garbsen. 118 S.Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation
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Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor
Glukhovskoy, A., Prediger, M. S., Schäfer, J., Ambrosio, A., Ambrosius, N., Vogt, A., Santos, R., Ostholt, R. & Wurz, M., 2021, 2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC). S. 1563-1570 8 S. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2021-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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SiC-Mikrofräswerkzeuge für die Mikrobearbeitung
Asadi, E., 2021, Garbsen. 114 S.Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation
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Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses
Arndt, M., Wurz, M. C., Dencker, F., Long, Y. & Twiefel, J., 2021, MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, S. 742-745 4 S. (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Technologieentwicklung zur Direktabscheidung und Strukturierung von Sensorik auf insbesondere Großbauteilen am Beispiel von Dehnungsmessstreifen
Klaas, D., 2021, Garbsen. 156 S.Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation
- 2020
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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER KONZENTRATION
WURZ, Marc, C. (Erfinder*in), Glukhovskoy, A. (Erfinder*in), Schnebeck, T. (Erfinder*in) & MAIER, Hans, J. (Erfinder*in), 9 Dez. 2020, IPC Nr. G01N 21/ 31 A I, Patent Nr. EP3746773, Prioritätsdatum 30 Jan. 2019, Prioritätsnr. WO2019EP52291Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
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Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers und Bauteil mit elektrischer Funktionalität
Maier, H. J. (Erfinder*in), Wurz, M. C. (Erfinder*in) & Bengsch, S. (Erfinder*in), 26 Nov. 2020, IPC Nr. H05K 3/ 00 A I, Patent Nr. DE102019113973, Prioritätsdatum 24 Mai 2019, Prioritätsnr. DE201910113973Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
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Transfer Printing of Conductive Thin-Films on PDMS with Soluble Substrates for Flexible Biosensors
Hadeler, S., Bengsch, S., Prediger, M. & Wurz, M., 14 Nov. 2020, in: Engineering Proceedings. 2, 1, S. 8181Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review
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Verschleiß-Untersuchung in sauerstofffreier Atmosphäre
Raumel, S., 7 Aug. 2020, phi – Produktionstechnik Hannover informiert, 28.Publikation: Beitrag in nicht-wissenschaftlicher/populärwissenschaftlicher Zeitschrift/Zeitung › Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift › Transfer
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Development, characterisation and high-temperature suitability of thin-film strain gauges directly deposited with a new sputter coating system
Klaas, D., Ottermann, R., Dencker, F. & Wurz, M. C., 10 Juni 2020, in: Sensors (Switzerland). 20, 11, S. 1-15 15 S., 3294.Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review
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Magnetkopf, Verfahren zur Speicherung von Information sowie Erzeugnis
Rechel, M. (Erfinder*in), Taptimthong, P. (Erfinder*in) & Wurz, M. C. (Erfinder*in), 16 Jan. 2020, IPC Nr. G11B 5/ 235 A I, Patent Nr. DE102018116896, Prioritätsdatum 12 Juli 2018, Prioritätsnr. DE201810116896Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
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Einrichtung mit einem elektrischen Bauteil sowie Verfahren zu deren Herstellung
Maier, H. J. (Erfinder*in), Wurz, M. C. (Erfinder*in), Bengsch, S. (Erfinder*in), Giese, U. (Erfinder*in) & Omelan, M. (Erfinder*in), 9 Jan. 2020, IPC Nr. B60C 23/ 04 A I, Patent Nr. DE102018116182, Prioritätsdatum 4 Juli 2018, Prioritätsnr. DE201810116182Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent
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Direct Deposition of Thin-Film Strain Gauges with a New Coating System for Elevated Temperatures
Ottermann, R., Klaas, D., Dencker, F., Wurz, M. C., Hoheisel, D., Rottengatter, P. & Kruspe, T., 2020, IEEE Sensors, SENSORS 2020: Conference Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 9278661Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Flexibel und druckempfindlich: Sensoren für die Insertionsüberwachung in der Cochlea
Prediger, M. & Wurz, M. C., 2020, HannoverPublikation: Sonstige Publikation › Forschung › Peer-Review
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Giant Magneto-Resistive Effect based Sensor on Laser Direct Structured MID Substrates
Fischer, E. C., Bengsch, S., De Wall, S. & Wurz, M. C., 2020, Proceedings: IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 439-444 6 S. 9159426. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2020-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Heat-Assisted Magnetic Storage on Component Surfaces
Taptimthong, P., 2020, Garbsen. 135 S.Publikation: Qualifikations-/Studienabschlussarbeit › Dissertation
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Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern
de Wall, S., Kassner, A., Dencker, F., Künzler, C., Heine, H., Herr, W., Christ, M., Krutzik, M., Rasel, E. M. & Wurz, M. C., 2020, GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration. Berlin: VDE Verlag GmbH, S. 56-59 4 S. (GMM-Fachberichte).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Novel Piezoelectric Force Sensor Array for Investigation of Ultrasonic Wire Bonding
Arndt, M., Long, Y., Dencker, F., Reimann, J., Twiefel, J. & Wurz, M. C., 2020, Proceedings: IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 276-283 8 S. 9159495. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2020-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review
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Optical Platform for Highly Precise Optical Components
Bengsch, S., Fischer, E., De Wall, S., Schelm, T., Arndt, M. & Wurz, M. C., 2020, Proceedings: IEEE 70th Electronic Components and Technology Conference, ECTC 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., S. 2191-2196 6 S. 9159477. (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2020-June).Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review