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Elektronenstrahllithographie-Rasterelektronenmikroskop-Hybridsystem (ESL-REM)
Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Großgerät
Validierungszentrum für optomechatronische Systeme
Lachmayer, R. J. (Leitung)
Institut für Produktentwicklung und GerätebauAusstattung/Einrichtung: Großgerät
Versuchs- und Messstand für biotechnologische Prozesse
Institut für Siedlungswasserwirtschaft und AbfalltechnikAusstattung/Einrichtung: Großgerät
MPP-Rechencluster
Nominandum, N. (Leitung) & Krojanski, H. G. (Leitung)
Leibniz Universität IT Services (LUIS)Ausstattung/Einrichtung: Großgerät
Reaktive Ionenätzanlage RIE (Cl und F)
Ding, F. (Leitung) & Kerker, O. (Gerätemanagement)
Laboratorium für Nano- und QuantenengineeringAusstattung/Einrichtung: Großgerät