Hochauflösendes SEM mit Möglichkeit zur Messung empfindlicher Proben ohne Sputterung (Geringe Spannung an der Probe, wenig Aufladung), Detektoren oberhalb, zwischen und unterhalb der Linsen, für Messungen mit Schwerpunkten auf Oberflächenkontrast, Materialzusammensetzung und Oberflächenstruktur; STEM Adapter für Transmissionsmessungen im SEM; empfindliches 100mm² EDX für Elementbestimmungen und Elementmapping