Die JEOL HyperProbe mit Schottky-Feldemissions-Kathode verfügt über fünf wellenlängendispersive Röntgenspektrometer (WDS) mit einer Nachweisgrenze um 20ppm (10-5). Es können Elemente zwischen den Ordnungszahlen 4 (Be) und 92 (U) im Mikrometer Bereich (10-6) ortsaufgelöst und zerstörungsfrei analysiert werden. Die WDS Spektrometer können alle Elemente Z > 9 mit verschiedenen Kristallen (LIF, PET, TAP) messen. Außerdem besitzt das Gerät die Kristalle LDE1, LDE2, LDEB für leichte Elemente (Be, B, C, N, O, F). Bei Elementen mit Ordnungszahlen >37 (Rb) kommen die charakteristischen Linien der L- bzw. M-Serien zur Anwendung. Fest eingebaut ist außerdem ein energiedispersiver 30 mm2-Silizium-Drift-Detektor (EDS/SDD). Für das Messen am Gerät stehen als Software sowohl „Easy-EPMA“ (JEOL), als auch „Probe for EPMA“ (Donovan) zur Verfügung.